產(chǎn)品參數(shù)

腔體

01.樣品臺尺寸：CGO-2/CGO-4

02.觀察窗口：2英寸/4英寸

03.制冷方式：液氮 、液氦/制冷機(jī)

04.控制方式：開循環(huán)手動(dòng)/閉循環(huán)自動(dòng)控制

05.溫度范圍：77K~450K、4.5K~450K/4.5K~450K

06.真空度：10-6 torr

07.探針臂接口：頂多6個(gè)探針臂接口

08.樣品固定：彈簧壓片

09.其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

10.溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K

11.穩(wěn)定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯微鏡

01.X-Y-Z移動(dòng)行程：50mmx25mmx13mm

02.結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)

03.移動(dòng)精度：10μm/ 1μm

04.光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源

05.CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素

探針座

01.X-Y-Z移動(dòng)行程：50mmx25mmx13mm

02.結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)

03.移動(dòng)精度：10μm/ 1μm

探針夾具

01.線纜：同軸線/三軸線/射頻線

02.漏電精度：10 PA/ 100fA/ 10fA

03.固定探針：彈簧固定/螺絲固定

04.接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口

探針

01.射頻支持：DC-67GHZ

02.針尖直徑：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm/50μm/100μm

03.材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅

04.真空組件：分子泵組/機(jī)械泵
05.冷源組件：50L/100L液氮罐/液氨罐/制冷機(jī)
06.外形重量：730mmx750mmx1265mm(長寬高)   約100kg

防震桌參數(shù)

01.防震桌類型：氣浮隔振防震桌/阻尼隔振防震桌

02.隔振方式：空氣彈簧隔振/復(fù)合材料隔振
03.材質(zhì)：不銹鋼 / 碳鋼
04.平面度：0.05mm/m2
05.粗糙度：＜0.8μm

06.孔距：25×25mm
07.孔徑：M6
08.平臺尺寸(長寬)：可定制
09.平臺厚度：50 / 100 / 200mm
10.固有頻率：1.5Hz - 2Hz/6Hz - 8Hz
11.支撐腿：氣浮支撐腿/阻尼支撐腿
12.支撐腿數(shù)量個(gè)：4個(gè)/6個(gè)
13.支撐腿高度：800mm±10mm
14.其他：內(nèi)芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制